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Surface roughness of alumina films deposited by reactive r.f. sputtering
作者
Yadun Zhao,
Yitai Qian,
Weichao Yu,
Zuyao Chen
出处
期刊：
Thin Solid Films
[Elsevier BV]
日期：1996-09-01
卷期号：286 (1-2): 45-48
被引量：36
标识
DOI：10.1016/s0040-6090(95)08514-9
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