Dry Etching Technology for Semiconductors

小型化 材料科学 蚀刻(微加工) 半导体 光电子学 干法蚀刻 工程物理 纳米技术 工程类 图层(电子)
作者
Kazuo Nojiri
出处
期刊:Springer eBooks [Springer Nature]
被引量:190
标识
DOI:10.1007/978-3-319-10295-5
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
刚刚
yikefan发布了新的文献求助10
2秒前
2秒前
张新宇完成签到,获得积分10
2秒前
2秒前
李明泰发布了新的文献求助10
3秒前
云上人发布了新的文献求助10
4秒前
乐乐应助柳沙鸣采纳,获得10
4秒前
吃瓜米吃瓜米完成签到 ,获得积分10
5秒前
6秒前
6秒前
搞怪冷之完成签到 ,获得积分10
6秒前
我是老大应助RC_Wang采纳,获得10
7秒前
赵赵发布了新的文献求助10
7秒前
7秒前
7秒前
修管子完成签到,获得积分10
7秒前
张新宇发布了新的文献求助10
8秒前
今后应助李明泰采纳,获得10
8秒前
lbw完成签到 ,获得积分10
8秒前
海绵宝宝发布了新的文献求助10
9秒前
9秒前
heiye完成签到,获得积分10
9秒前
科研通AI6应助Glorious采纳,获得10
10秒前
脑洞疼应助我想查文献采纳,获得10
11秒前
jingjing完成签到,获得积分10
11秒前
gqwe发布了新的文献求助10
11秒前
车间我发布了新的文献求助10
11秒前
angell发布了新的文献求助10
11秒前
花花完成签到,获得积分10
12秒前
dsv发布了新的文献求助10
12秒前
搞怪冷之关注了科研通微信公众号
14秒前
perfumei完成签到,获得积分10
14秒前
罗大大发布了新的文献求助10
14秒前
研友_VZG7GZ应助liuuuuu采纳,获得10
15秒前
15秒前
雨齐完成签到,获得积分10
15秒前
李明泰完成签到,获得积分10
17秒前
酷波er应助yangjun采纳,获得10
17秒前
17秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Fermented Coffee Market 2000
PARLOC2001: The update of loss containment data for offshore pipelines 500
Critical Thinking: Tools for Taking Charge of Your Learning and Your Life 4th Edition 500
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 500
A Manual for the Identification of Plant Seeds and Fruits : Second revised edition 500
Constitutional and Administrative Law 400
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 遗传学 催化作用 冶金 量子力学 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 5262687
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 4423535
关于积分的说明 13770052
捐赠科研通 4298274
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2358345
邀请新用户注册赠送积分活动 1354694
关于科研通互助平台的介绍 1315914