Dry Etching Technology for Semiconductors

小型化 材料科学 蚀刻(微加工) 半导体 光电子学 干法蚀刻 工程物理 纳米技术 工程类 图层(电子)
作者
Kazuo Nojiri
出处
期刊:Springer eBooks [Springer Nature]
被引量:194
标识
DOI:10.1007/978-3-319-10295-5
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