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材料科学表面粗糙度离子束反应离子刻蚀紫外线表面光洁度蚀刻（微加工）光学电子回旋共振复合材料分析化学（期刊）光电子学离子图层（电子）梁（结构）化学物理量子力学色谱法

作者

Florian Hölzel,Daniel Alexandre Rolón,Jens Bauer,J. Kober,Stefan Kühne,F. Pietag,Dirk Oberschmidt,Thomas Arnold

出处

期刊：Surfaces and Interfaces [Elsevier]
日期：2023-03-01 卷期号：38: 102784-102784 被引量：9

标识

DOI：10.1016/j.surfin.2023.102784

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