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Fabrication of high aspect ratio AFM tips by surfactant added TMAH etching

制作肺表面活性物质原子力显微镜蚀刻（微加工）材料科学纳米技术纵横比（航空）化学工程复合材料工程类医学病理替代医学图层（电子）

作者

Farheen Nasir,Bo Cui

出处

期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
日期：2025-03-17 卷期号：388: 116477-116477 被引量：1

标识

DOI：10.1016/j.sna.2025.116477

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