Fabrication of high aspect ratio AFM tips by surfactant added TMAH etching

制作 肺表面活性物质 原子力显微镜 蚀刻(微加工) 材料科学 纳米技术 纵横比(航空) 化学工程 复合材料 工程类 医学 替代医学 病理 图层(电子)
作者
Farheen Nasir,Bo Cui
出处
期刊:Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
卷期号:: 116477-116477
标识
DOI:10.1016/j.sna.2025.116477
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