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Comparation on the tribological properties of textured design between Si/Ni-DLC and Si/Ta-DLC composite films
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作者
Yanxia Wu,
Yanjie Xu,
Ke Li,
Bang Shi,
Ying Liu,
Y.L. Gong,
Shengwang Yu
出处
期刊:
Vacuum
[Elsevier BV]
日期:2025-01-04
卷期号:233: 114017-114017
被引量:4
标识
DOI:10.1016/j.vacuum.2025.114017
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