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Enhancement of Laser-Induced Plasma-Assisted Ablation for High-efficiency and High-quality Micromachining of Sapphire Substrate via Heating Target

作者

Yilan Wu,Xiangfu Liu,Minghui Hong

出处

期刊：Optics and Laser Technology [Elsevier BV]
日期：2025-10-02 卷期号：192: 114023-114023 被引量：3

标识

DOI：10.1016/j.optlastec.2025.114023

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