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Plasma Chemical Deposition of Hydrogenated DLC Films with Different Hydrogen and sp3-Hybrid Carbon Content

氢 碳纤维 化学工程 材料科学 沉积（地质） 碳膜 等离子体 薄膜 化学 无机化学 纳米技术 复合材料 有机化学 复合数 物理 古生物学 量子力学 沉积物 工程类 生物
作者
А. И. Охапкин,М. Н. Дроздов,P. A. Yunin,S. A. Kraev,D.B. Radishev
出处
期刊：Semiconductors [Pleiades Publishing]
日期：2024-01-01 卷期号：58 (1): 57-60
标识
DOI：10.1134/s1063782624010123
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