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Optical and electronic properties of Ge1−xSnx/Si alloys grown by remote plasma-enhanced chemical vapor deposition

材料科学 带隙 半导体 化学气相沉积 直接和间接带隙 费米能级 分析化学(期刊) 碲化物 光电子学 凝聚态物理 化学 量子力学 冶金 物理 电子 色谱法
作者
Kevin K. Choe,Daniel Felker,B. Claflin,Gordon Grzybowski,Christina L. Dugan
出处
期刊:Journal of vacuum science and technology [American Vacuum Society]
卷期号:42 (5)
标识
DOI:10.1116/6.0003759
摘要

Solid state detectors composed of GeSn (germanium-tin) alloys offer improved capabilities compared with mercury cadmium telluride detectors. GeSn detectors may be smaller in size and weight, capable of operating with a noncryogenic detector, and provide increased sensitivity. Recent advances in nonequilibrium remote plasma-enhanced chemical vapor deposition growth enable GeSn crystalline growth with up to 10% Sn concentration, free of surface migration. Absorption spectroscopy combined with Tauc analysis results in 0.79, 0.73, 0.69, 0.59, 0.57, and 0.51 eV direct bandgap energies for GeSn samples with 0%, 2.7%, 4.6%, 6.6%, 7.1%, and 8.0% Sn, respectively. These absorption bandgap energies closely agree with density functional theory energies within ±0.05 eV. However, the rate of change of indirect bandgap narrowing as a function of Sn content is more diverse than a numerical result. The current research evidences that the indirect-to-direct transition crossover point occurs at a Sn content greater than 8%. From the analysis of the Urbach tail, the optical bandgap exhibits a potential structure disorder in the Urbach region. For example, this disorder may cause bandgap narrowing by more than 50% of the intrinsic bandgap energy in the highest Sn content (e.g., 8% Sn) sample. The surface Fermi level approximation validates p-type Fermi level pinning very close to the valence band maximum, often seen in highly doped semiconductors.

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