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A study on the Properties of Cu/SiOC(-H)/p-Si(100) and Cu/TaN/SiOC(-H)/p-Si(100) Interface
材料科学
接口(物质)
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作者
Chi Kyu Choi,
Chang Young Kim,
R. Navamathavan,
Heang Seuk Lee,
Younghun Yu,
Jong-Kwan Woo
出处
期刊:
Journal of the Korean Physical Society
[Springer Science+Business Media]
日期:2009-11-14
卷期号:55 (5(1)): 1960-1964
标识
DOI:10.3938/jkps.55.1960
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