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Electron beam ion-assisted deposition of SiO₂–TiO₂ broadband antireflection coatings: Substrate temperature effect on optical properties
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沉积（地质）
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光学
梁（结构）
电子束物理气相沉积
薄膜
电子束诱导沉积
化学气相沉积
作者
Omprakash Muthusamy,
Yasir F. Joya,
Richard Day,
Chris Nyamayaro,
Ben Assinder,
Sohail Khan,
Matthew Jevon,
Zengbo Wang
出处
期刊：
Surfaces and Interfaces
[Elsevier BV]
日期：2026-04-11
卷期号：90: 109259-109259
标识
DOI：10.1016/j.surfin.2026.109259
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