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Microstructure, mechanical and tribological properties of TiCN nanocomposite films deposited by DC magnetron sputtering

材料科学纳米复合材料摩擦学纳米压痕微观结构溅射沉积 X射线光电子能谱复合材料扫描电子显微镜溅射摩擦学薄膜化学工程纳米技术工程类

作者

R. Chen,Jiangping Tu,D.G. Liu,Yongjin Mai,Changdong Gu

出处

期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2011-05-29 卷期号：205 (21-22): 5228-5234 被引量：109

标识

DOI：10.1016/j.surfcoat.2011.05.034

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