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The study on the high-temperature performances of a graphene MEMS pressure sensor

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作者

Daosen Liu,Shengsheng Wei,Chao Liu,Dejun Wang

出处

期刊：Journal of Materials Science: Materials in Electronics [Springer Science+Business Media]
日期：2023-03-01 卷期号：34 (9) 被引量：2

标识

DOI：10.1007/s10854-023-10211-5

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