Highly-Selective Etching of Micro-Transfer-Printed Thin-Film Lithium Niobate for Low Coupling Losses

铌酸锂 材料科学 蚀刻(微加工) 光电子学 联轴节(管道) 薄膜 干法蚀刻 锂(药物) 纳米技术 复合材料 内分泌学 图层(电子) 医学
作者
Tom Vandekerckhove,Ruben Van Assche,Ivo Tanghe,Margot Niels,Stijn Poelman,Tom Vanackere,Maximilien Billet,Stéphane Clemmen,Bart Kuyken
标识
DOI:10.1364/cleo_si.2024.sth3f.6
摘要

Efficient low-loss coupling to micro-transfer-printed lithium niobate remains a challenge. We developed a highly-selective lithium niobate etch that enables selective etching of tapered coupling structures into the lithium niobate thin film after micro-transfer printing.

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