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Effect of Nucleophiles with Passivating –Oh Group to Suppress Re-Deposition of Si3n4 Etch Byproduct and Promote Sn2-Like Nucleophilic Substitution on Selective Si3n4 Etching

亲核细胞 SN2反应群（周期表）蚀刻（微加工）亲核取代沉积（地质）化学替代（逻辑）钝化材料科学立体化学药物化学有机化学催化作用地质学图层（电子）计算机科学古生物学程序设计语言沉积物

作者

Jongwon Han,Sangwoo Lim

出处

期刊：Social Science Research Network [RELX Group (Netherlands)]
日期：2025-01-01

标识

DOI：10.2139/ssrn.5111277

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