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Research progress and prospects on gas-sensitive mechanisms of semiconductor sensors

半导体 纳米技术 材料科学 生化工程 计算机科学 系统工程 工程物理 数据科学 工程类 光电子学
作者
Jifeng Chu,Jianbin Pan,Qiongyuan Wang,Aijun Yang,Shizhen Song,Huan Yuan,Mingzhe Rong,Xiaohua Wang
出处
期刊：Physical Chemistry Chemical Physics [Royal Society of Chemistry]
日期：2023-01-01 卷期号：25 (18): 12668-12683 被引量：15
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1039/d3cp00030c
摘要
This review aims to summarize existing approaches and their progress on the interpretation of gas-sensing mechanisms in semiconductor materials.
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