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Wide range applications of process plasma diagnostics using vacuum ultraviolet absorption spectroscopy

等离子体光谱学等离子体诊断等离子体刻蚀大气压等离子体吸收光谱法吸收（声学）等离子清洗化学原子吸收光谱法蚀刻（微加工）等离子体处理原子物理学材料科学分析化学（期刊）纳米技术光学物理环境化学复合材料量子力学图层（电子）

作者

Keigo Takeda,Kenji Ishikawa,Masaru Hori

出处

期刊：Reviews of modern plasma physics [Springer Nature]
日期：2022-07-01 卷期号：6 (1) 被引量：7

标识

DOI：10.1007/s41614-022-00075-3

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