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Self-formation of SiGe oxide, Ge, and void multilayers via thermal oxidation of hydrogenated epitaxial SiGe films

材料科学外延退火（玻璃）结晶度氧化物空隙（复合材料）薄膜化学工程光电子学图层（电子）复合材料纳米技术冶金工程类

作者

Junyang An,Ruiling Gong,Xinyu Li,Ileana Florea,Lise Watrin,Pere Roca i Cabarrocas,Wanghua Chen

出处

期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2023-04-06 卷期号：213: 112072-112072 被引量：2

链接

polytechnique.hal.sciencedoi.org

标识

DOI：10.1016/j.vacuum.2023.112072

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