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In-situ non-contact monitoring of photoresist thickness and degree of cure using terahertz time-domain spectroscopy

光刻胶 原位 材料科学 太赫兹辐射 光谱学 学位（音乐） 时域 光学 复合材料 光电子学 计算机科学 声学 物理 计算机视觉 量子力学 气象学 图层（电子）
作者
Sang-Il Kim,Hak‐Sung Kim
出处
期刊：NDT & E international [Elsevier]
日期：2025-08-21 卷期号：157: 103530-103530
标识
DOI：10.1016/j.ndteint.2025.103530
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