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Characterization of phosphorus deactivation in epitaxial Si:P and surpassing 1021 cm−3 carrier concentration
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作者
Daner Abdula,
Yi‐Jen Chiu,
Caleb K. Miskin,
Alexandros T. Demos
出处
期刊：
Journal of Crystal Growth
[Elsevier BV]
日期：2024-12-01
卷期号：: 128046-128046
标识
DOI：10.1016/j.jcrysgro.2024.128046
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