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Silicon-on-Insulator Integrated ITO-Based Mach-Zehnder Modulator

干涉测量 绝缘体上的硅 马赫-曾德尔干涉仪 光子学 电光调制器 电压 硅光子学 物理 集成光学 光电子学 硅 材料科学 光调制器 光学 相位调制 量子力学 相位噪声
作者
Rubab Amin,Rishi Maiti,Caitlin Carfano,Zhizhen Ma,Mohammad H. Tahersima,Yigal Lilach,Dilan Ratnayake,Hamed Dalir,Volker J. Sorger
出处
期刊:2019 IEEE Research and Applications of Photonics in Defense Conference (RAPID) 卷期号:7: 1-3
标识
DOI:10.1109/rapid.2019.8864346
摘要

We demonstrate a monolithically integrated compact ITO electro-optic modulator in silicon on insulator photonics based on a Mach-Zehnder interferometer featuring a high-performance half-wave voltage and active device length product of V pi *L = 0.52 V-mm.
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