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Features of the structure of TiN films after irradiation with nitrogen
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作者
А. З. Хамдохов,
Р. Ш. Тешев,
З. М. Хамдохов,
В. С. Куликаускас,
П. Н. Черных
出处
期刊：
Surface investigation: x-ray, synchrotron and neutron techniques
[Pleiades Publishing]
日期：2013-09-01
卷期号：7 (5): 1001-1004
被引量：2
标识
DOI：10.1134/s1027451013050315
摘要
In this work, we study the structure of submicron titanium-nitride films after surface treatment with a nitrogen-ion beam. It is ascertained that nitrogen-ion beams affect two-phase TiN-Ti films thus transforming them into single-phase TiN.
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