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LIGA-Technology for the fabrication of positioned planar structures
作者
Helmut Schift,
J. S�chtig
出处
期刊：
Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems
[Springer Science+Business Media]
日期：1998-05-27
卷期号：4 (3): 132-134
被引量：9
链接
lib4ri.ch
doi.org
标识
DOI：10.1007/s005420050115
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