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作者
Xin Wang,
Gaorong Han
出处
期刊:
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期:2003-04-01
卷期号:66 (1-4): 166-170
被引量:116
标识
DOI:10.1016/s0167-9317(03)00042-x
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