材料科学
蚀刻(微加工)
纳米技术
光电子学
过程(计算)
沉积(地质)
制作
电流(流体)
干法蚀刻
电极
作者
Yijie Fan,Zhuo Wang,Cong Liu,Bowen Guo,Wen Hui Wang,Shenggeng Zhao,Jingning Zhang,Wei Liu (20030),Chang Zhu,Kailiang Ren,Zhou Li,Dan Luo,Dingsheng Wang
出处
期刊:Matter
[Elsevier BV]
日期:2026-06-01
卷期号:: 102857-102857
标识
DOI:10.1016/j.matt.2026.102857
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