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Rapid activation of a solution-processed aluminum oxide gate dielectric through intense pulsed light irradiation
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作者
Yeon‐Wha Oh,
Hoon Kim,
Lee-Mi Do,
Kyu-Ha Baek,
Il‐Suk Kang,
Ga‐Won Lee,
Chan‐mo Kang
出处
期刊：
RSC Advances
[Royal Society of Chemistry]
日期：2024-01-01
卷期号：14 (50): 37438-37444
被引量：2
链接
doi.org
nih.gov
nih.gov
doi.org
标识
DOI：10.1039/d4ra06855f
摘要
In this study, we report rapid activation of a solution-processed aluminum oxide gate dielectric film to reduce its processing time under ambient atmosphere.
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