Low-power 2D gate-all-around logics via epitaxial monolithic 3D integration

材料科学 外延 光电子学 功率(物理) 纳米技术 工程物理 工程类 物理 量子力学 图层(电子)
作者
Junchuan Tang,Jianfeng Jiang,Xiaoyin Gao,Xin Gao,Chenxi Zhang,Mengdi Wang,Chengyuan Xue,Zhong‐Rui Li,Yuling Yin,Congwei Tan,Feng Ding,Chenguang Qiu,Lian‐Mao Peng,Hailin Peng
出处
期刊:Nature Materials [Nature Portfolio]
卷期号:24 (4): 519-526 被引量:45
标识
DOI:10.1038/s41563-025-02117-w
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