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Epitaxial deposition of β-Ga2O3 films by radio-frequency magnetron sputtering at elevated substrate temperatures

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作者
Abubakar M. Ismailov,Magomed A. Umakhanov,M. R. Rabadanov,М. Х. Рабаданов
出处
期刊:Vacuum [Elsevier BV]
卷期号:244: 114840-114840 被引量:2
标识
DOI:10.1016/j.vacuum.2025.114840
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