Characterization of Cu(In, Ga)Se2 Thin Film Deposited by RF Magnetron Sputtering from a Single Quaternary Target

材料科学 表征(材料科学) 溅射沉积 薄膜 第四纪 溅射 腔磁控管 高功率脉冲磁控溅射 光电子学 纳米技术 地质学 古生物学
作者
Dong Hyun Hwang,Chang‐Sik Son,Shinho Cho
出处
期刊:Science of Advanced Materials [American Scientific Publishers]
卷期号:9 (6): 907-910
标识
DOI:10.1166/sam.2017.2909

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