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作者
J.S. Cherng,
T.Y. Chen,
C.M. Lin
出处
期刊：
Thin Solid Films
[Elsevier BV]
日期：2011-02-11
卷期号：519 (20): 6797-6800
被引量：15
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2011.01.391
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