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High resolution electron microscopy study on crystallization of gold-implanted amorphous SiC
作者
H. Mori,
Takao Sakata
出处
期刊:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms
[Elsevier BV]
日期:1994-10-01
卷期号:94 (1-2): 73-80
被引量:6
标识
DOI:10.1016/0168-583x(94)95659-6
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