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Effect of elastic element on self-excited electrostatic actuator

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作者
Hiroyuki Nabae,Koichi Ikeda
出处
期刊:Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
卷期号:279: 725-732 被引量:7
标识
DOI:10.1016/j.sna.2018.06.045

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