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Influence of Si doping on the microstructure and hardness of an AlTiSiN coating deposited by low pressure chemical vapor deposition

材料科学 微观结构 化学气相沉积 涂层 兴奋剂 沉积（地质） 复合材料 冶金 纳米技术 光电子学 沉积物 生物 古生物学
作者
Liyong Chen,Lianchang Qiu,Jifei Zhu,Lunwang Yang,Wei Cheng,Liying Wu,Qiumin Yang,Bo Jiang,Zhuopeng Tan,Lei Yin,Hao Chen,Yong Du
出处
期刊：Ceramics International [Elsevier BV]
日期：2021-06-01 卷期号：47 (18): 25593-25601 被引量：8
标识
DOI：10.1016/j.ceramint.2021.05.285
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