Design and fabrication process of electromagnetically actuated valveless micropump with two parallel flexible diaphragms

平行动态被动无阀门的 micropump 被设计，它由三层鈥攙a lve，隔膜和电磁的卷组成。阀门湿乎乎地在硅晶片被蚀刻，隔膜是电影与嵌入的永久磁铁帖子在硅晶片上旋转了的 PDMS (polydimethyl siloxane ) ，并且卷是硅底层上的 electroplated。在卷产生的磁场的使活动下面，灵活隔膜能向上并且向下被代替。在分析灵活的膜的磁性、机械的特征和嘴的方向依赖以后， micropump 被设计。并且 micropump 嘴的相对长度(L/d ) 被花 4。7 永久磁性的柱子穿的 7 脳在 PDMS 电影被嵌入。二隔膜在一个反步模式工作了，它能减轻液体吃惊并且增加 micropump 的分泌物。ANSYS？并且 Matlab？被采用分析卷和 micropump 的流动特征的使活动效果。结果看那是否在 0.3 A 下面激活， 100 Hz 电流，隔膜的排水量是 micropump 的超过 30 渭 m，和分泌物是大约 6 渭 L /s。