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材料科学 锆钛酸铅 谐振器 光电子学 铁电性 制作 极化（电化学） 薄膜 谐振器耦合系数 机电耦合系数 压电 电介质 纳米技术 复合材料 病理 物理化学 化学 医学 替代医学
作者
Xinyu Cai,Kaihang Zhang,Jianhui Wu,Jie Li,Hao Jin,Shurong Dong,Jinkai Chen,Weipeng Xuan,Jikui Luo
出处
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier]
日期：2023-09-03 卷期号：167: 107817-107817 被引量：3
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2023.107817
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