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High-sensitivity and low-volume-based piezoelectric MEMS acceleration sensor using PiezoMUMPs

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作者
Priyabrata Biswal,Mithlesh Kumar,Sougata Kumar Kar,Banibrata Mukherjee
出处
期刊：Journal of Materials Science: Materials in Electronics [Springer Nature]
日期：2023-11-01 卷期号：34 (32)
标识
DOI：10.1007/s10854-023-11528-x
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