Effect of N doping on the microstructure and dry etch properties of amorphous carbon deposited with a DC sputtering system

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作者
Sung‐Tae Kim,Minwoo Jeong,Kuntae Kim,Ung-gi Kim,Miyoung Kim,Soyeon Lee,Young‐Chang Joo
出处
期刊:RSC Advances [Royal Society of Chemistry]
卷期号:13 (3): 2131-2139 被引量:6
标识
DOI:10.1039/d2ra06808g
摘要

The importance of nitrogen in developing amorphous carbon hardmask with excellent performance, and physical and chemical properties to utilize in long-term etching is spotlighted due to the acceleration of development in high-density semiconductors.
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