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作者
Sung‐Tae Kim,Minwoo Jeong,Kuntae Kim,Ung-gi Kim,Miyoung Kim,Soyeon Lee,Young‐Chang Joo
出处
期刊:RSC Advances
[Royal Society of Chemistry]
日期:2023-01-01
卷期号:13 (3): 2131-2139
被引量:6
摘要
The importance of nitrogen in developing amorphous carbon hardmask with excellent performance, and physical and chemical properties to utilize in long-term etching is spotlighted due to the acceleration of development in high-density semiconductors.
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