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Crystallographic and electrical properties of platinum film grown by chemical vapor deposition using (methylcyclopentadienyl)trimethylplatinum

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作者
Masahiko Hiratani,Toshihide Nabatame,Yūichi Matsui,Shin’ichiro Kimura
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2002-05-01 卷期号：410 (1-2): 200-204 被引量：23
标识
DOI：10.1016/s0040-6090(02)00221-3
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