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等离子体增强化学气相沉积
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材料科学
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兴奋剂
作者
В. С. Лысенко
出处
期刊：
Semiconductors
[Pleiades Publishing]
日期：2001-06-01
卷期号：35 (6): 621-621
标识
DOI：10.1134/1.1379390
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