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MEMS Devices Fabricated by Microfabrication Technology: Research Status and Prospect
作者
Xiaoguang Dai
出处
期刊：Journal of Hubei Vocational-Technical College
日期：2006-01-01
链接
cnki.com.cn
摘要
The principle of process,characteristic and research status on the several typical microfabrication techniques used to fabricate MEMS devices are given a review in this paper.It also looks ahead the prospect of the microfabrication techniques.
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