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Surface Channel Metal Gate CMOS with Light Counter Doping and Single Work Function Gate Electrode
作者
Kazumi T. Nishinohara,
Y. Akasaka,
Tomohiro Saito,
Akira YAGISHITA,
Atsushi Murakoshi,
K. Suguro,
Tsunetoshi ARIKADO
出处
期刊：Extended Abstracts of the 2018 International Conference on Solid State Devices and Materials
日期：2000-09-18
标识
DOI：10.7567/ssdm.2000.b-1-4
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