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Synthesis and analysis of titanium nitride/titanium oxynitride films using colliding plasma pulsed laser deposition techniques

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作者
Ravi Pratap Singh,Astha Shukla
出处
期刊:Materials Research Bulletin [Elsevier BV]
卷期号:198: 114030-114030 被引量:1
标识
DOI:10.1016/j.materresbull.2026.114030
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