发布文献求助

已入深夜，您辛苦了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！祝你早点完成任务，早点休息，好梦！

High-precision alignment system for DMD-based maskless lithography in multilayer exposure applications

无光罩微影平版印刷术材料科学纳米技术计算机科学光电子学电子束光刻抵抗图层（电子）

作者

Ting Hsuan Miau,Chun‐Ying Wu,Yung-Chun Lee

出处

期刊：Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology [Elsevier BV]
日期：2025-08-01

标识

DOI：10.1016/j.precisioneng.2025.07.026

求助该文献

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 科研通AI5上传了应助文件

刚刚; 别摆烂了完成签到，获得积分10

1秒前; kid1912完成签到，获得积分0

2秒前; JamesPei上传了应助文件

2秒前; wanci的应助被韋晴采纳，获得10

2秒前; sw123完成签到，获得积分10

2秒前; 热心雪一完成签到，获得积分10

3秒前; hyhyhyhy发布了新的文献求助10

3秒前; 爱听歌的依秋发布了新的文献求助10

6秒前; 李爱国的应助被凝雁采纳，获得10

7秒前; 满意雨雪完成签到，获得积分10

7秒前; 可靠松鼠完成签到，获得积分10

7秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

7秒前; 嗯嗯给嗯嗯的求助进行了留言

8秒前; 脑洞疼上传了应助文件

10秒前; 量子星尘发布了新的文献求助20

10秒前; 2021完成签到，获得积分10

10秒前; 大个的应助被hyhyhyhy采纳，获得10

11秒前; 夏xx发布了新的文献求助10

11秒前; SiO2完成签到，获得积分0

11秒前; zhu完成签到，获得积分10

12秒前; DR.zhang发布了新的文献求助10

15秒前; 浮游的应助被今天开心吗采纳，获得30

15秒前; 科研通AI5的应助被BO采纳，获得10

15秒前; NexusExplorer的应助被PennySun采纳，获得10

16秒前; 达达完成签到，获得积分10

17秒前; 科研通AI6的应助被Bohao_Li采纳，获得10

17秒前; 山茶谱子完成签到，获得积分20

19秒前; wxyshare的应助被帅气的冰淇淋采纳，获得10

20秒前; 科研通AI5上传了应助文件

21秒前; 我是老大上传了应助文件

22秒前; 科研通AI5的应助被结实的胡萝卜采纳，获得10

23秒前; 浮游上传了应助文件

24秒前; bkagyin的应助被冰阔罗采纳，获得10

24秒前; 李爱国上传了应助文件

25秒前; 清瑜发布了新的文献求助10

25秒前; Akim上传了应助文件

25秒前; 科研通AI6上传了应助文件

25秒前; wanci的应助被读书的时候采纳，获得10

26秒前; STP顶峰相见发布了新的文献求助30

26秒前

高分求助中: (应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000; Einführung in die Rechtsphilosophie und Rechtstheorie der Gegenwart 1500; Cowries - A Guide to the Gastropod Family Cypraeidae 1200; “Now I Have My Own Key”: The Impact of Housing Stability on Recovery and Recidivism Reduction Using a Recovery Capital Framework 500; The Red Peril Explained: Every Man, Woman & Child Affected 400; The Social Work Ethics Casebook(2nd,Frederic G. Reamer) 400; Atlas of the Rabbit Brain and Spinal Cord 300

热门求助领域（近24小时）

热门帖子: 关注科研通微信公众号，转发送积分 5017959; 求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4257379; 关于积分的说明 13268826; 捐赠科研通 4061849; 什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2221610; 邀请新用户注册赠送积分活动 1230802; 关于科研通互助平台的介绍 1153478

今日热心研友

哆啦的空间站

昏睡的蟠桃

聪慧的正豪

冬雪丶消融

注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10

Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved

科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力

本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播

皖ICP备2024041134号-1

皖公网安备34019202002308

科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】

科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入

关注微信服务号

科研通