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High-precision alignment system for DMD-based maskless lithography in multilayer exposure applications

无光罩微影平版印刷术材料科学纳米技术计算机科学光电子学电子束光刻抵抗图层（电子）

作者

Ting Hsuan Miau,Chun‐Ying Wu,Yung-Chun Lee

出处

期刊：Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology [Elsevier BV]
日期：2025-08-18 卷期号：96: 937-943 被引量：1

标识

DOI：10.1016/j.precisioneng.2025.07.026

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