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作者
In Pyo Park,
Bu Kyeong Hwang,
Bo Ram Lee,
Pung Keun Song,
Seok Heo
出处
期刊：
Journal of Materials Chemistry C
[Royal Society of Chemistry]
日期：2023-01-01
卷期号：11 (23): 7793-7801
标识
DOI：10.1039/d3tc01379k
摘要
Development of DUV/Thermal dual treatment (DTT) process to improve the electrical performance and stability of oxide thin film transistors while efficiently controlling the threshold voltage of the device.
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