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Effect of composition uniformity in the polymer chain of EUV photoresist on lithographic performance

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作者
Eun Kyo Ko,Yoorim Jang,Kwang-Woo Choi,Philjae Kang,Nara Shin,Yong‐Kyu Yoon,Joongyeop Lee,Jayoung Koo,Y. Kim,Karen Petrillo,Jae Hwan Sim
标识
DOI：10.1117/12.3051237
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