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Improving the microstructure and properties of PZT thin films via annealing prepared by RF magnetron sputtering using Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 target

材料科学退火（玻璃）薄膜微观结构结晶度溅射沉积粒度溅射复合材料表面粗糙度陶瓷分析化学（期刊）纳米技术色谱法化学

作者

Pakinee Thongrit,Chanunthorn Chananonnawathorn,Mati Horprathum,Narit Triamnak,Tossaporn Lertvanithphol,Sukum Eitssayeam,Kamonpan Pengpat,Patamas Bintachitt

出处

期刊：Ceramics International [Elsevier BV]
日期：2022-12-23 卷期号：49 (8): 12912-12924 被引量：6

标识

DOI：10.1016/j.ceramint.2022.12.163

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