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作者
Prashanth Jaganmohan,
Bala Muralikrishnan,
Vincent C. S. Lee,
Wei Ren,
Octavio Icasio-Hernández,
Ed Morse
出处
期刊：
Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
[Elsevier BV]
日期：2022-11-14
卷期号：79: 310-322
被引量：7
标识
DOI：10.1016/j.precisioneng.2022.11.005
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