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The Effect of Oxidation Temperature on the (1000–1300) cm−1 Band in FT-IR Spectra of Silicon Oxide Synthesized by Thermal Oxidation of Silicon Wafers

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作者

Kamal Kayed,Dalal Baba Kurd

出处

期刊：Silicon [Springer Science+Business Media]
日期：2022-02-18 卷期号：14 (15): 10081-10086 被引量：2

标识

DOI：10.1007/s12633-022-01732-5

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