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Influence of Deposition Temperature on the SiN<sub><em>x</em></sub>:H Film Prepared by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

沉积（地质）化学气相沉积等离子体材料科学分析化学（期刊）等离子体增强化学气相沉积化学纳米技术环境化学物理生物沉积物量子力学古生物学

作者

WEN Zhen-Li,Cao Xiao-Ning,Zhou Chun-Lan,Lei Zhao,Hailing Li,Wenjing Wang

出处

期刊：Acta Physico-chimica Sinica [Peking University Press]
日期：2011-01-01 卷期号：27 (06): 1531-1536 被引量：1

链接

标识

DOI：10.3866/pku.whxb20110632

摘要

公司生产的管式等离子增强化学气相沉积(PECVD)

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