Influence of substrate pre-treatments on the growth of SixNyHz thin films by plasma enhanced chemical vapor deposition

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作者
Cinzia Di Franco,Gaetano Scamarcio
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
卷期号:202 (13): 3081-3087
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2007.11.010
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