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First-principles studies of MoF6 absorption on hydroxylated and non-hydroxylated metal oxide surfaces and implications for atomic layer deposition of MoS2

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作者
Matthew Lawson,Elton Graugnard,Lan Li
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2020-11-17 卷期号：541: 148461-148461 被引量：9
链接
sciencedirect.com osti.govdoi.org
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2020.148461
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